荏原製作所がPFCガスの処理装置を開発

荏原製作所は、 半導体や液晶パネルなどの製造過程で排出されるPFC（パーフルオロコンパウンド）ガスを、水を使わずに分解、除去できる「F固定式排ガス処理装置」の開発、実証試験を終了し、量産を開始したと発表した。
携帯電話やパソコン、薄型テレビなどの生産拡大に伴い、電子部品製造のドライエッチング工程などで使用するPFCガスの使用量が増加している。PFCガス は地球温暖化への影響で、温室効果が二酸化炭素（CO2）の約1万倍と非常に高いことから、電子部品メーカーは排出削減に積極的に取り組んでいる。
従来のPFCガス処理装置では、PFCガスを分解処理した際に発生するフッ素を、後段の水スクラバーで水に溶け込ませて回収し、別途設置した排水処理設備 によって分離処理していた。今回、荏原が開発した「F固定式排ガス処理装置」は、PFCガスを触媒作用により分解。発生したフッ素を処理剤にフッ化カルシ ウムとして固定する。このため、スクラバー水や排水処理設備が必要なく、処理水の河川等への放流もなくなる。給排水が不要なため、既存の工場にも容易に設 置できる。
装置は半導体量産工場である東芝セミコンダクターの四日市工場で実証試験を終了し、高いPFC除去性能を確認したという。この装置1台当たりの温暖化削減効果をCO2に換算した場合、約2000t／年になる。
ガス処理後に生成されたフッ化カルシウムは、再利用することが可能なことから、荏原は将来的には純度を上げ、フッ化水素（HF）製造の原料とすることにも挑戦する考えを示した。

この装置の開発で、温室効果ガスの減少を図れるでしょう。
さらに荏原製作所は将来的なエコについての取り組みも考慮されていて、原料を無駄にしない、リサイクルの観点からも、地球環境を重要視していることが素晴らしいですね。
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